Способ обезгаживания

Способ обезгаживания ионной бомбардировкой применяется при откачке больших электровакуумных приборов (мощных генераторных ламп, рентгеновских трубок и т. п.), в которых для электронной бомбардировки необходимо прикладывать к электродам весьма высокие напряжения; ионная же бомбардировка требует сравнительно низких напряжений. Как мы уже отмечали, в вакуумной технике приходится иметь дело с давлениями в пределах от 103 до Ю-11 ммрт. ст. и ниже. Такой широкий диапазон давлений невозможно охватить каким-либо одним манометрам универсального типа. К настоящему времени разработано большое количество различных типов манометров, принцип работы которых основан на зависимости того или иного физического явления от давления газа. Мы рассмотрим семь типов манометров, получивших наибольшее распространение, а именно манометры: и-образные, стрелочный, компрессионный, тепловые, ионизационный, радиоактивный и магнитный электроразрядный манометр. Каждому из этих типов (манометров соответствует определенный интервал давлений (рис. 6-1), а вместе взятые они охватывают всю область давлений, с которыми приходится встречаться в вакуумной технике. Принцип работы и-образных манометров хорошо известен из курса физики.

 

« Пред.		След. »