Таким образом, для получения сверхвысокого вакуума при помощи ионизационного манометра основное время теряется на профилактические операции (обезгаживание, устранение течей), после чего откачка вакуумной системы небольших размеров до давления 109н-1010 мм рт. ст. занимает уже время порядка всего лишь нескольких десятков минут.
В заключение описания применения ионизационных манометров для измерения и получения сверхвысокого вакуума необходимо указать, что с устранением неблагоприятного эффекта от рентгеновского облучения коллектора ионов, с одной стороны, стало возможным нижний предел применения ионизационного манометра продвинуть на несколько порядков в область сверхвысокого вакуума; с другой стороны, выявился важный фактор, ограничивающий возможности понижения давления в вакуумных системах, в которых требуется достигнуть сверхвысокий вакуум. Таким фактором оказалась диффузия (через стенки стекла) гелия, находящегося в земной атмосфере (в количестве 0,0005%). Предельное давление, достигаемое в изолированной сверх-высоковакуумной системе, после устранения всех самых ничтожных течей обусловливается равновесием между быстротой откачивающего действия ионизационного манометра и скоростью диффузии гелия через стекло.
На принципе работы ионизационного манометра основана проверка вакуума в откачанных и отпаянных электровакуумных приборах. В этом случае манометром является сам электровакуумный прибор, к электродам которого подводятся соответствующие напряжения.
|
Предельное давление